대기압 이하의 저압기체를 빨아들이고 압축해서 대기 중으로 방출함으로써, 용기 내의 진공도를 높이는 장치. 압축기의 일종이다. 진공도 표시방법은 대기압을 기준으로 한 게이지압력과 절대진공을 기준으로 한 절대압력을 사용한다. 종래 E. 토리첼리의 이름을 따서 토르(Torr)나, 수은주 밀리미터(㎜Hg)를 썼으나, 새로 제정한 국제단위계(SI단위)에서는 압력의 단위로서 파스칼(Pa)을 사용한다.
1Torr=1㎜Hg=133.322Pa,
1기압 = 760Torr
= 760mmHg
= 76cmHg
= 101330Pa
그 밖에 대기압 0％, 절대진공 100％의 진공도(게이지 진공도를 말함)를 사용하기도 한다.

[기계적 진공펌프〕
압축기로 사용이 가능한 것은 모두 진공펌프로 사용이 가능하며, 다단(多段)터보압축기·왕복압축기·나사압축기·루츠 블로어(roots blower) 등이 기계적 진공펌프로 쓰이고 있으나 도달진공도는 낮다. 보통 기계적 진공펌프에는 수봉식(水封式)과 기름회전식(油回轉式)이 있다. 수봉식 진공펌프에서는, 원통형 케이싱에 물을 넣고 편심(偏心)으로 장치된 날개차를 회전시키면, 물은 원심력으로 케이싱의 바깥둘레 부분에 동심원모양으로 부착하고 2개의 날개와 수면 사이 공간의 용적은 날개차의 회전과 함께 변화한다. 따라서 흡입구에서 흡입된 기체는 날개차 안에서 부피가 서서히 감소되어 대기 중으로 방출된다. 이 펌프의 도달진공도는 절대압력으로 15kPa 정도로 높지 않으나, 물을 함유한 공기를 흡입하여도 작동상 전혀 영향이 없다. 그 때문에, 중형이나 대형펌프에 필요한 마중물용 진공펌프로 널리 사용한다. 기름회전식 진공펌프는 로터와 스테이터(실린더) 사이의 접동부(摺動部)를 기름으로 실링함으로써 새는 것을 막고, 부피효율을 높여서 고진공도를 얻을 수 있다. 1단(段)에서 절대압 1.3Pa, 3단에서 0.13Pa 정도의 진공을 이룰 수 있다. 널리 사용되는 것으로 캠식·베인식·시계추식(키니식)이 있다. 캠식펌프는 용수철에 의해 로터면으로 밀어붙여진 칸막이 판자·실린더·편심로터로 둘러싸인 공간의 용적이 로터의 회전과 함께 변화하고 기체는 흡입구에서 흡입되고 압축되어 배출된다. 베인식 펌프 작동원리는 캠식과 같으며, 편심로터에 삽입된 베인을 용수철로 실린더에 눌러 붙이고, 베인과 로터와 실린더로 둘러싸인 편심로터의 회전에 수반하는 시계추의 진동을 이용한다. 흡입구는 시계추와 일체가 되게 만들었으며, 로터의 회전으로 개폐된다. 캠식이나 베인식과 달리 용수철의 파손에 의한 고장은 없으나, 시계추의 동요로 인한 진동이 생긴다.

[확산펌프·이온펌프〕
기계적 진공펌프로는 도달할 수 없는 고진공을 실현시키기 위해 확산펌프·이온펌프 등을 사용한다. 확산펌프는 보조진공펌프로 어느 정도 진공도를 높인 다음 기름 또는 수은을 가열·증발시킨 후 노즐에서 분사시켜서 함께 기체분자를 외부로 배출시키는 것이며, 기름을 사용할 경우 10Pa의 진공을 실현할 수 있다. 이온펌프는 양극과 음극사이에 높은 전위차를 주고, 그것에 의하여 유도된 전자를 기체분자와 충돌시켜 분자를 이온화시킨다. 양의 전하를 받아서 이온화된 기체분자는 음극으로 모이고, 용기 내의 기체분자는 적어진다. 이때 고밀도의 자기장에 의해서 전자가 긴 나선모양의 궤도를 그리며, 전자와 분자의 충돌기회가 많도록 연구되었다. 이 펌프는 입자가속기·X선관 등에 쓰인다.

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